国内首条 12 英寸先进传感器研发中试线成功通线
做啦 7 月 1 日消息 据国家智能传感器创新中心消息，6 月 30 日，由国家智能传感器创新中心建设的国内首条 12 英寸先进传感器中试线成功通线。▲图文无关据介绍，该中试线以国产设备为主，具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级 3D 集成技术的核心工艺能力，同时为国产装备提供验证平台，加速先进传感器产业链国产化，实现自主可控。做啦了解到，国家智能传感器创新中心表示，将在 12 英寸中试线持续开发新材料、新工艺...