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2020 年下半年以来，全球半导体行业景气度持续高涨，上游光刻胶市场也不例外，日本信越化学等厂商受多种因素影响，不仅趁此机会抬高光刻胶价格，而且还减少部分中国客户的供给量，中小型客户甚至出现断供的情况。不过，“断供危机”也倒逼国内晶圆厂商开始尝试国产光刻胶，这在一定程度上加快了国产光刻胶的发展速度。目前彤程新材、晶瑞电材已经供货多家下游厂商，而南大光电、上海新阳、广信材料、飞凯材料等厂商的光刻胶产品进度也明显加快。什么是光刻胶？光刻胶是利用光化学反应经光刻工艺将所需要的微细图形从掩模版转移到待加...

芯东西 9 月 17 日报道，今天，北京华卓精科科技股份有限公司（以下简称“华卓精科“）于科创板成功过会。华卓精科主营业务为超精密测控设备，产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘、晶圆级键合设备、激光退火设备等，主要应用于集成电路制造、超精密制造、光学、医疗等行业。光刻机工件台是光刻机的 3 大核心部件之一，华卓精科是国内首家自主研发并实现光刻机双工件台商业化生产的企业，也是国内光刻机龙头上海微电子的供应商。目前，华卓精科的 DWS 系列双工件台可用于 65nm 及以上节点的 I-l...