日韩两地齐增产,住友化学 ArF 用光刻胶有望扩产 1.5 倍
9 月 1 日消息为应对当地芯片厂需求,日本大厂住友化学拟在韩国兴建先进半导体材料厂房,生产应用于最先进制程的光刻胶,同时在日本增加新产线,整体最先进制程用光刻胶产能有望扩增 1.5 倍。▲图源:WBCSD据 MoneyDJ 报道,住友化学 8 月 31 日宣布,将加强最先进制程用光刻胶生产,计划在日本大阪工厂增设 ArF 及 EUV 用光刻胶产线,预计在 2023 年上半年启用生产。同时,其位于韩国益山市的全资子公司 Dongwoo Fine-Chem 也将兴建浸润式 ArF 用光刻胶产房,预...