国内首台关键尺寸量测设备出机中芯国际，面向 300mm（12 英寸）硅片工艺制程
做啦 7 月 6 日消息 近日，东方晶源举行国内首台关键尺寸量测设备（CD-SEM）出机仪式，正式宣布斩获订单并出机中芯国际。▲ 图自东方晶源此次出机的关键尺寸量测设备（型号：SEpA-c410）面向 300mm（12 英寸）硅片工艺制程，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。芯片代工厂商要想生产出高良品率的芯片，除了芯片制造的主要工艺外，缺陷检测以及各项关键尺寸的检测也是工艺流程中不可或缺的环节。东...
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